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多层膜微结构参数的低角X射线衍射分析

王超群 , 纪红

物理测试

各种铁磁性金属、非铁磁性金属组成的磁性多层膜系统的性质及微结构的研究是凝聚态物理及材料科学中的一个热点。它们的巨磁电阻（GMR）效应强烈地依赖于多层膜的微结构，如周期厚度、界面粗糙度、生长取向以及晶粒度等。采用掠入射X射线衍射分析（ＧIXA）法表征多层膜的微结构，具有无损和空间分辨率高的特点。通过ＧIXA可获得有关薄膜的密度、厚度以及表面粗糙度等微观结构信息。文章对上述有关的分析方法进行了评述。

关键词: 多层膜 , microstructure , XRD , reflectivity , periodic thickness , roughness